国家/地区 |
台湾(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B32(4)![]() |
IPC小类 |
B32B(4)![]() |
IPC |
B32B009/00(3)
B82Y030/00(2)
C01B031/02(2)
C23C016/26(2) H01L029/06(2) |
发明人 | |
公开年 | 2011(3) |
申请年 |
2010(4)![]() |
专利权人 |
CHEN K, HU M, KUO C, CHEN L, CHEN K H, HU M S, KUO C C, CHEN L C
ADLER U, RODE D, BURESCH I, WANG J, FRECKMANN D, SCHMIDT H, ROHDE D, WANG Y
MCFEELY F R, YURKAS J J, OIDA S, HANNON J B