国家/地区 美国(3) 中国(2) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 B01(5)
IPC小类 B01J(5) C01B(5) B82Y(3)
C23C(3) H01L(2) H01M(2)
IPC B01J023/755(5)
发明人
公开年 2016(5)
申请年 2016(4) 
专利权人