国家/地区 美国(4) 韩国(3) 中国(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4) C23C(4) C25D(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C23C014/34(4)
发明人
公开年 2016(4)
申请年 2016(3) 
专利权人