国家/地区 德国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3) C23C(3) B32B(2)
B82B(2) C01B(2) C23F(2)
H01L(2)
IPC B82Y030/00(3)
发明人
公开年 2013(2)
申请年
专利权人