国家/地区 美国(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 中国(3) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/04(5) B82Y040/00(3) C01B031/02(3)
B82Y030/00(2) C01B032/182(2) C01B032/184(2)
C01B032/194(2) C01B032/20(2) H01L051/00(2)
发明人
公开年 2013(2) 2014(2)
申请年 2013(5)
专利权人