国家/地区 日本(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/02(3) B82Y030/00(2) C01B031/04(2)
C01B032/194(2) C23C026/00(2) H01M004/13(2)
H01M004/139(2)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2012(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)