国家/地区 世界知识产权组织(22)
IPC部 C(22)
IPC大类 C01(22)
IPC小类 C01B(22)
IPC C01B032/194(22)
发明人 KADOMA H(2) MOMMA H(2) OGUNI T(2)
SEO S(2) SEO T(2)
公开年 2016(5) 2013(4) 2017(3) 2011(2) 2015(2)
申请年 2011(5)  2016(5)  2013(4)  2017(3)  2015(2)  2020(2) 
专利权人 UNIV MANCHES.(3) SEMICONDUCTO.(2)