国家/地区 日本(4) 美国(2)
IPC部 C(4) H(4) B(2)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC H01L029/786(4)
发明人 HAYASHI H(2) OTOMO M(2) YAMADA Y(2)
YAMAGUCHI J(2)
公开年
申请年 2019(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(4)