国家/地区 日本(4) 美国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC H01L029/786(4) H01L051/05(4) H01L051/30(4)
C01B032/184(3) H01L029/06(3) H01L029/16(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/182(2)
C08G061/12(2) H01L021/336(2) H01L029/872(2)
发明人 HAYASHI H(2) OTOMO M(2) YAMADA Y(2)
YAMAGUCHI J(2)
公开年
申请年 2019(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(4)