国家/地区 日本(4)
IPC部 C(4) B(2) H(2)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B032/184(3) C08G061/10(3) B82Y040/00(2)
C01B032/15(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2)
H01L029/786(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2)
发明人 YAMAGUCHI J(4)
公开年
申请年 2019(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(4)