| 国家/地区 |
中国(7)
|
| IPC部 |
C(7)
B(6)
H(4)
F(3) |
| IPC大类 |
C01(7)
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| IPC小类 |
C01B(7)
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| IPC |
C23C016/26(7)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | 2014(2) 2021(2) |
| 专利权人 |
FANG X, HE X, ZHOU X, DOU L, YANG S, SUN A, CAO Y
HAVERMANS D, SALLARD S, SHAFIQUE A, VANGENEUGDEN D, VANHULSEL A, HARDY A, SALAH S, SHAFIK A, VAN GENUGDEN D, HARDY N
WU M Y, HSIEH C, PENG C, WU Y, XIE C, HSIEH C Y, PENG C S
KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M
CHEN Y, LI J, LI Y, ZHANG X, LEE Y
