国家/地区 世界知识产权组织(10)
IPC部 B(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC B82Y040/00(4) C01B032/194(4) B82Y030/00(3)
C01B032/182(3) H01L029/16(3) C01B032/15(2)
C01B032/186(2) H01L029/66(2)
发明人
公开年 2022(6) 2023(4)
申请年 2022(10)
专利权人

LEHMANN K, SCHUMANN S, LEICH V, BREUERS V, HOENIG J, HELLMANN L, HOVEN T, SEIDENSTICKER P