| 国家/地区 | 韩国(3) 美国(2) |
| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C01(3)
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| IPC小类 |
C01B(3)
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| IPC | C23C016/26(3) H01L021/02(2) |
| 发明人 | HAM M H(2) SON M W(2) |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(3)
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HAM M H, SON M W, MYUNGWOO S
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
