国家/地区 | 中国(2) 韩国(2) 美国(2) |
IPC部 | C(4) H(3) |
IPC大类 |
C23(4)![]() |
IPC小类 |
C23C(4)
H01L(3)
C01B(2)
|
IPC |
C23C014/12(4)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2022(4)![]() |
申请年 | 2020(2) 2022(2) |
专利权人 |
ZERGIOTI I, PAPAZOGLOU S, ZACHARATOS F, LOGOTHETI A, PESQUERA A, ZURUTUZA A, NAVEH D
WATABE T, SEO H, UEDA L, KAWANO Y, TOMOHIRO K A, KITANO Y, DOS T, OHSAWA N, SEO S, TOSU T, KUBODA T, UEDA A, KONO Y, KUBOTA T, TORISU T, OSAWA N