国家/地区 中国(2) 韩国(2) 美国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) H01L(3) C01B(2)
IPC C23C014/12(4)
发明人
公开年 2022(4)
申请年 2020(2)  2022(2) 
专利权人

WATABE T, SEO H, UEDA L, KAWANO Y, TOMOHIRO K A, KITANO Y, DOS T, OHSAWA N, SEO S, TOSU T, KUBODA T, UEDA A, KONO Y, KUBOTA T, TORISU T, OSAWA N