国家/地区 日本(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) B82Y(2) C01B(2)
H01L(2)
IPC C23C014/18(4)
发明人
公开年
申请年
专利权人 UNIV CALIFOR.(2)