国家/地区 |
日本(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)![]() |
IPC小类 |
C23C(4)
B82Y(2)
C01B(2)
H01L(2) |
IPC |
C23C014/18(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 | UNIV CALIFOR.(2) |
NI Z, MATSUMOTO T, IFUKU R, YOU W
ZARETSKI A, LIPOMI D J, SAVTCHENKO A, MOLOKANOVA E, MERCOLA M