国家/地区 中国(3) 美国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) G01N(4) C01B(2)
IPC C23C016/27(5)
发明人 LI X(2)
公开年 2021(3)
申请年 2020(2) 
专利权人