| 国家/地区 | 韩国(2) |
| IPC部 | C(3) H(2) |
| IPC大类 |
C23(3)
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| IPC小类 |
C23C(3)
C01B(2)
H01L(2)
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| IPC |
C23C016/448(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2012(2) |
| 申请年 |
2011(3)
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| 专利权人 |
JIN S H, SIK S G, YEONG C J, KIM S W, SHIN H J, CHOI J Y, SHIN K S
SON M H, SONG H J, CHOI H C
