| 国家/地区 | 中国(2) 日本(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(3)
|
| IPC大类 |
C01(3)
|
| IPC小类 |
C01B(3)
|
| IPC |
C23C028/00(3)
|
| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
KAZUOMI S, KAZUHIRO T, YASUHIRO Y, MAYUMI K, RYOTA Y, SATO K, TOKUNAGA K, YUZUHARA Y, KOSAKA M, YUGE R
HUANG Y, HU C, HU Q, HUANG Y C, HU C L
