国家/地区 | 加拿大(2) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(2)![]() |
IPC大类 |
B01(2)![]() |
IPC小类 |
B01J(2)![]() |
IPC |
C23C016/04(2)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(2)![]() |
申请年 | |
专利权人 |
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L