国家/地区 韩国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B01(3)
IPC小类 B01J(3)
IPC C23C014/58(3)
发明人 KIM T S(2) SEOK H H(2) WOO K H(2)
公开年 2021(3)
申请年 2021(2) 
专利权人 UNIV SUNGKYU.(2)