国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C04(4)
IPC小类 C04B(4)
IPC H01L021/02(4)
发明人 HU S C(2) LIN I(2) SUNG C(2)
YU C(2)
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人 HU S C(2) LIN I(2) SUNG C(2) YU C(2)