| 国家/地区 | 美国(3) 中国(2) |
| IPC部 |
B(3)
|
| IPC大类 |
C01(3)
|
| IPC小类 |
C01B(3)
B32B(2)
B82Y(2)
C23C(2) G02F(2) H01L(2) |
| IPC | C01B031/02(2) C23C016/26(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(3) |
| 申请年 |
2012(3)
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| 专利权人 |
KIM T H, KIM Y K, KEE S B, KIM S K, IM C G, HO K T, GWON K Y, BEOM G S, GUK K S, GYU I C
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S
