国家/地区 | 韩国(3) 中国(2) 日本(2) 美国(2) |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B01(4)![]() |
IPC小类 |
B01J(4)![]() |
IPC |
C23C016/18(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(2) |
申请年 | |
专利权人 |
CHANG K, SHIN H S, PARK T J, KWON S H
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K