国家/地区 英国(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 B05(2)
IPC小类 B05D(2)
IPC B05D005/12(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2) H01L031/0224(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人