国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B32(5)![]() |
IPC小类 |
B32B(5)![]() |
IPC |
C23C016/02(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
WANG X, HUO Y, LI J, CAO Z, XIAO Z
BURGGRAF J, JUERGEN B
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
CHOI J, SHIN H, YOON S, CHOI J Y, SHIN H J, YOON S M, IN Z