国家/地区 | 美国(4) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B32(4)![]() |
IPC小类 |
B32B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2011(3) |
申请年 |
2010(4)![]() |
专利权人 |
CHEN K, HU M, KUO C, CHEN L, CHEN K H, HU M S, KUO C C, CHEN L C
BAE S K, CHOI J, HONG B H, KANG J, KIM H K, KIM Y J, YAN J K
MCFEELY F R, YURKAS J J, OIDA S, HANNON J B
KIM S O, LEE W J, LEE D H, HAN T H, KIM J E, LEE J A, LEE K J