国家/地区 澳大利亚(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B32(3)
IPC小类 B32B(3)
IPC B32B009/00(3) C23C016/26(3) A41D031/102(2)
B01D067/00(2) B01D071/02(2) B32B009/04(2)
C01B032/186(2) H01L021/02(2)
发明人 CHOI K(2) HEIGHT M(2) PARK H(2)
PARK H G(2)
公开年 2021(2)
申请年
专利权人 HEIQ MATERIA.(2)