国家/地区 美国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B32(6)
IPC小类 B32B(6)
IPC B32B009/00(5) B82Y030/00(5) B82Y040/00(5)
C01B031/02(4) C01B031/04(3) C23C016/26(3)
B05D005/12(2) B82B001/00(2) B82B003/00(2)
C01B031/00(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 KIM H K(2)
公开年 2011(6)
申请年 2010(6)
专利权人

AGO HIROKI, ITO YOSHITO, TANAKA IZUMI, MIZUNO SEIGI, TSUJI MASAHARU, AGO H, ITO Y, TANAKA I, MIZUNO S, TSUJI M, MIZUNO K