国家/地区 美国(3) 韩国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82B(3)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/02(3)
B82B003/00(2) C01B031/04(2) C23F001/02(2)
H01L029/786(2)
发明人
公开年 2011(3)
申请年 2011(3)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)