国家/地区 | 美国(3) 韩国(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B82(3)![]() |
IPC小类 |
B82B(3)![]() |
IPC |
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3)
C01B031/02(3)
B82B003/00(2) C01B031/04(2) C23F001/02(2) H01L029/786(2) |
发明人 | |
公开年 |
2011(3)![]() |
申请年 |
2011(3)![]() |
专利权人 | SAMSUNG ELEC.(2) |
LEE S, SEO S, WOO Y, CHUNG H, HEO J, LEE S H, SEO S A, WOO Y S, CHUNG H J, HEO J S, HUN L S
SHIN H, CHOI J, LEE Y, HAN G, CHOI J Y, HAN G H, LEE Y H, SHIN H J
ARNOLD M, GOPALAN P, SAFRON N S, KIM M, ARNOLD M S