国家/地区 韩国(3) 美国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C016/26(3) H01L021/02(2)
发明人 HAM M H(2) SON M W(2)
公开年
申请年
专利权人 GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(3)