国家/地区 美国(5) 世界知识产权组织(3) 澳大利亚(2) 加拿大(2) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/04(5)
发明人 NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2)
公开年 2021(5)
申请年 2020(5)
专利权人 QUANTUM ELEM.(3)