国家/地区 | 美国(5) 世界知识产权组织(3) 澳大利亚(2) 加拿大(2) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/04(5)![]() |
发明人 | NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2) |
公开年 | 2021(5) |
申请年 |
2020(5)![]() |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(3) |
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L