国家/地区 |
中国(6)![]() |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C018/12(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2020(2) |
申请年 | 2020(2) |
专利权人 |
SHAO S, LIN J, XIA Y, LIU X
PAWLOSKI A R, BENNETT G S, CERNOHOUS J J, KASKE K, SZYMANSKI A E