国家/地区 中国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2）
IPC小类 C01B（2）
IPC C01B032/194（2）
发明人 LIU P（2）
公开年 2018（2）
申请年
专利权人

Method of making a pellicle for use in extreme ultraviolet (EUV) lithography system, by depositing graphene layer over first material layer, and depositing amorphous silicon layer over graphene layer.

TU C, CHEN C, YOO C S, CHANG J, TSAI C, LIU P, LEE H, LIN C, LIN Y, TU Z, CHEN J, CAI J, YOU Q, ZHANG Z, LIN Z, LIU B, LI X, YOO C

Preparing copper/graphene composite material involves using acetone, ethanol and de-ionized water for washing rolled copper foil, ultrasonic cleaning rolled copper foil with hydrochloric acid, and then cleaning copper foil.

ZHANG K, SONG R, LIU P, LI W, CHEN X, MA F, HE D, LIU X