国家/地区 | 中国(2) |
IPC部 |
C(2)![]() |
IPC大类 |
C01(2)![]() |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC |
C23C028/00(2)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 |
2020(2)![]() |
专利权人 |
YOO H, KIM J, BAEK J, BYEON C, YOO H J, SU K J, BAEK J H, BYEON C S, BAI J, LIU H