国家/地区 中国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人