国家/地区 美国(6) 中国(4) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 印度(3) 日本(3) 台湾(3) 法国(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC H01L021/02(6)
发明人 GABEN F(2)
公开年 2016(2) 2021(2)
申请年 2016(2)  2020(2) 
专利权人