国家/地区 | 美国(6) 中国(4) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 印度(3) 日本(3) 台湾(3) 法国(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)![]() |
IPC小类 |
C23C(6)![]() |
IPC |
H01L021/02(6)![]() |
发明人 | GABEN F(2) |
公开年 | 2016(2) 2021(2) |
申请年 | 2016(2) 2020(2) |
专利权人 |
LIN Y, LEE S, JHONG Y, ZHAMU A, JANG B Z, LI S
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
ZARETSKI A, LIPOMI D J