国家/地区 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C01B032/186(2) C23C016/04(2) C30B029/02(2)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(3)
专利权人