| 国家/地区 | 欧洲专利局(EPO)(2) |
| IPC部 | C(3) G(3) |
| IPC大类 |
C23(3)
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| IPC小类 |
C23C(3)
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| IPC |
C23C016/26(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2022(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
YOON S Y, YOOK J, JAI L H, SHIM W P
