国家/地区 中国(3) 日本(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC H01J001/304(6)
发明人 LI K(2) LI Z(2) SONG G(2)
公开年 2016(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 UNIV QINGDAO.(2)