国家/地区 | 中国(5) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2) |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C23(7)![]() |
IPC小类 |
C23C(7)![]() |
IPC |
H01J009/02(7)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2022(3) |
申请年 | 2021(3) |
专利权人 |
ZHANG X, LEI W, ZHAO Z, ZHAO N
LIU H, GUAN L, WANG B, ZHANG W, XIONG Y
QIN C, LI T, WANG Q, LOU H, SHI L, LUO L, HUANG S
MURAKAMI K, NAGAO M, KATSUHISA M, MASAYOSHI N
IIJIMA R, URAYAMA M, KYOTANI T, OGAWA T, TOMITA A