国家/地区 中国(5) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7)
IPC H01J009/02(7)
发明人
公开年 2022(3)
申请年 2021(3) 
专利权人