国家/地区 |
中国(2)![]() |
IPC部 |
C(2)![]() |
IPC大类 |
C23(2)![]() |
IPC小类 | C23C(2) H01L(2) |
IPC |
C23C014/08(2)![]() |
发明人 |
LIU S(2)![]() |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
LIU S, SUN Y, FENG J, CAO Y, DUAN L, WANG H, DU M, WANG L, WANG K
YI W, ZHANG X, ZHENG F, ZHOU H, YANG H, LIU M, LIU S, ZHOU C, YANG W, KONG X, HE Z