国家/地区 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 B82(2)
IPC小类 B82Y(2) C01B(2) C23C(2)
H01L(2)
IPC B82Y030/00(2)
发明人 ZENASNI A(2)
公开年
申请年
专利权人 COMMISSARIAT.(2)