国家/地区 |
台湾(3)![]() |
IPC部 |
C(3)
H(3)
B(2)
|
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 |
C23C(3)
H01L(3)
C01B(2)
|
IPC |
C01B031/04(2)
C23C014/06(2)
H01L021/02(2)
H01L021/20(2) |
发明人 | |
公开年 |
2010(3)![]() |
申请年 | 2009(3) |
专利权人 |
RAMAPPA D A, SULLIVAN P, RAMAPPA D
BABICH K, CALLEGARI A, CHEN Z, KIEWRA E, SUN Y