| 国家/地区 | 韩国(2) 美国(2) |
| IPC部 |
B(2)
|
| IPC大类 |
B01(2)
|
| IPC小类 |
B01J(2)
|
| IPC |
C23C016/06(2)
|
| 发明人 | |
| 公开年 |
2021(2)
|
| 申请年 | |
| 专利权人 |
VINIT K, KIM H U, LEE J, SEOK H, KIM T, KIM T S, SEOK H H, WOO K H, CANADEVINIT
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L
