国家/地区 |
日本(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B05(3)![]() |
IPC小类 |
B05D(3)![]() |
IPC |
C23C016/02(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
BAE S K, CHOI J, HONG B H, KANG J, KIM H K, KIM Y J, YAN J K
BARATON L, COJOCARU C S, PRIBAT D, COJOCARU C
SUEMITSU M, KONNO A, MIYAMOTO Y, MAKI S, ASSEUSI G, YU M