国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(6)![]() |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B05(6)![]() |
IPC小类 |
B05D(6)![]() |
IPC |
B82Y030/00(5)
B82Y040/00(4)
C01B031/02(4)
C23C016/26(4) B05D005/12(3) C01B031/04(3) B05D007/14(2) C23C016/56(2) H01L031/18(2) H01L051/44(2) |
发明人 | |
公开年 |
2011(6)![]() |
申请年 | 2010(4) |
专利权人 |
VOUTILAINEN M, ROUVALA M, PASANEN P
KWON S, PARK K, YOON E, KWAK J, KWON S Y, YOON U
BAE S K, CHOI J, HONG B H, KANG J, KIM H K, KIM Y J, YAN J K
ADLER U, RODE D, BURESCH I, WANG J, FRECKMANN D, SCHMIDT H, ROHDE D, WANG Y
VEERASAMY V S, VEERASAMY V