国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B05(6)
IPC小类 B05D(6)
IPC B82Y030/00(5) B82Y040/00(4) C01B031/02(4)
C23C016/26(4) B05D005/12(3) C01B031/04(3)
B05D007/14(2) C23C016/56(2) H01L031/18(2)
H01L051/44(2)
发明人
公开年 2011(6)
申请年 2010(4) 
专利权人