| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 | B(3) C(3) |
| IPC大类 | B32(3) C23(3) |
| IPC小类 |
B32B(3)
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| IPC |
C23C016/26(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2018(3) |
| 申请年 |
2017(3)
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| 专利权人 |
YU Q, LUO H, SUN G, LI Z, YANG G
ZHANG K, SONG R, LIU P, LI W, CHEN X, MA F, HE D, LIU X
