国家/地区 | 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 台湾(2) |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B32(5)![]() |
IPC小类 |
B32B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2012(2) |
申请年 | 2009(2) 2011(2) |
专利权人 |
JOHNSON B Y, LIU X, MAZUMDER P
JIANG K, LIN X, XIAO L, FAN S, IM H Y, FAN F Y
VEERASAMY V S, VEERASAMY V