| 国家/地区 | 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 台湾(2) |
| IPC部 |
B(5)
C(5)
H(4)
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| IPC大类 |
B32(5)
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| IPC小类 |
B32B(5)
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| IPC |
C23C016/26(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2012(2) |
| 申请年 | 2009(2) 2011(2) |
| 专利权人 |
JOHNSON B Y, LIU X, MAZUMDER P
JIANG K, LIN X, XIAO L, FAN S, IM H Y, FAN F Y
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
